无尘车间有防静电要求的时候，室内的维护结构、设备等面层和涂层就不得使用高分子绝缘材料;当这些面层为非静电耗散型材料时，其表面必须涂覆静电耗散型材料的涂层;除地面以外的围护结构面层应选用表面电阻在1*105ω-1*1010ω的静电耗散型材料制作。
无尘车间防静电地面面层应选用耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料制作;具有不燃性能要求的地面宜选用防静电水磨石地面和防静电瓷质地面;在有220v及其以上电压的场所，其防静电地面宜使用静电耗散型材料，其表层的表面电阻应为1*105ω-1*1010ω，或体积电阻1*104ω-1*109ω。
无尘车间水磨石地面所用砂、石、水泥等材料，应符合相关规定;在导电地网上施工找平层，宜使用1:3干性水泥砂浆掺入复合导电粉，复合导电粉由1份水泥砂浆与0.2%份导电粉组成，并搅拌均匀，覆盖于导电地网上，然后镶嵌分格条;无尘车间水磨石地面施工前应清理基层地面并涂以绝缘漆，对于露出表面的金属应涂两遍，然后敷设钢筋导电网，钢筋直径为4mm-6mm，地网与接地端子应焊接牢固;金属嵌条截面宜为工字形，表面应作绝缘处理，敷设时不得交叉和连接，相邻处有3mm间距，分格条与导电网之间距离不应小于10mm。
用于防静电瓷质地板与地面结合层的水泥砂浆为体积比1:3的干硬性水泥砂浆，水泥强度不应低于32.5mpa，含泥量不应大于0.3%，厚度宜不低于30mm。在水泥砂浆结合层上铺设导电铜箔网，纵向间距宜为600mm，横向间距在3000mm-5000mm之间;无尘车间瓷质地板铺贴应平整、密室、无空隙、无裂缝、无缺损，缝线应平直，线缝宽度不宜大于3mm;地板和墙相接处应紧密贴合，不得用砂浆充填;瓷质地板铺贴后应在表面覆盖保湿，盖护应在7天以上，然后使用草酸溶剂清洁表面;应在瓷砖地板表面完全干燥后进行接地连接，采用螺栓牢固压紧方式连接接地端子。

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